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在半导体生产中,光刻机是核心设备,不仅决定了芯片制造的工艺水平,也是耗时最多、成本最高的一步,目前先进的7nm、5nm及接下来的3nm都需要EUV光刻机,一台售价将近10亿人民币,目前还是供不应求。

EUV光刻机目前只有荷兰ASML公司可以生产,他们的产能将决定全球先进工艺扩张的速度,日前ASML公司高级副总裁Christophe Fouquet在高盛会议上确认,将增加EUV光刻机的产能。

他们原本预计在2025年的时候EUV年产能是70台,现在决定提升到每年90台,有助于缓解产能不足的问题。

今年Q2季度还没结束,ASML公司就收到了超过100台EUV光刻机的订单,这已经大大超过了他们的产能,今年该公司计划出货EUV光刻机不过55台,只能满足一半的订单量,客户都要排队等待。

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